
6月18 日下午,复旦大学丁晨阳研究员受邀为我院师生带来一场主题为“集成电路装备的动力学和运动控制技术”的创新教育讲座。本次讲座采用线上线下相结合形式进行,由智能感知与仪器学院(中原彼得堡航空学院)副院长王海泉主持,执行院长温盛军及学院骨干教师、研究生代表参加本次讲座与学术交流。
丁晨阳研究员首先介绍了在集成电路光刻/量测/先进封装装备中,动力学和运动控制技术对整机的精度和产率的重要影响,之后围绕装备产率和精度的矛盾对系统动力学设计带来的技术挑战,介绍了动力学建模和测量技术、磁浮主动减振器及控制技术、行走式压电致动运动台及控制技术。
此次讲座的成功举办,不仅为我院师生搭建了一个与学术专家深入交流的平台,也为推动学院研究生教育高质量发展起到了积极的促进作用。(通讯员 史亚锋)